技術(shù)參數(shù)

1)低質(zhì)量時(shí)質(zhì)量分辨率：m/z = 28 (Si+)和29 (SiH+) 的m/?m ≥ 12,000

2)高質(zhì)量時(shí)質(zhì)量分辨率：m/z > 200的m/?m ≥ 16,000

3)絕緣材料質(zhì)量分辨率：PET標(biāo)準(zhǔn)樣品m/z = 104的m/?m ≥ 12,000

4)質(zhì)量范圍：1～12000 amu以上

5)質(zhì)量精度：< 2 mu @ m < 100 u；< 10 ppm @ m > 100 u

6)空間分辨率：水平空間分辨率：≤ 70nm

7)靈敏度：m/z = 27時(shí) ≥ 5.5 ×108 Al+ cts / nanocoulomb

8)信噪比：≥ 2 × 105

9)GCIB團(tuán)簇離子源能量范圍：1keV ~ 20 keV

應(yīng)用范圍

TOF-SIMS被廣泛應(yīng)用于各種材料開(kāi)發(fā)，材料剖析，多層薄膜/結(jié)構(gòu)剖析與失效機(jī)理的分析和研究具有不可替代的作用。

研發(fā)領(lǐng)域：半導(dǎo)體器件、納米器件、生物醫(yī)藥、量子結(jié)構(gòu)、能源電池材料等

高新技術(shù)：高分子材料、金屬、半導(dǎo)體、玻璃陶瓷、納米鍍層、紙張、薄膜、纖維等